洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,负压病房设计施工报价,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。
光学微电子行业净化工程设计方案分析:对于常规电子厂房洁净室空调的设计,负压病房设计安装施工,应根据电子厂房的生产工艺要求及甲方的经济条件来选用哪种空调设计方案,以满足生产工艺的要求作为前提。根据以往经验,对于要求高的可以选用组合式空气处理机组集中处理的空调方案;对于要求不高的,株洲负压病房,又要初投资低的,可以选用柜机+FFU。具体的方案选择根据具体情况而定。
空气过滤器的选用布置和安装方式,应符合:初效空气过滤器不应选用浸油式过滤器;中效空气过滤器宜集中设置在净化空气调节系统的正压段;空气过滤器或亚空气过滤器宜设置在净化空气调节系统末端,空气过滤的安装方式应简便可靠,宜检漏和更换;中效、亚、空气过滤器宜按额定风量选用;阻力、效率相近的空气过滤器宜设置在同一净化车间内。
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