工业生产的自然环境湿度是影响空气环境质量的重要因素。很多工业产品必须在规定湿度下才能生产出来。无尘车间的温湿度既要满足工艺生产要求，又要满足人的舒适度，温湿度等级根据洁净度的要求进行调整。就苏州工业园区电子厂房净化工程而言，在大规模集成电路进行生产光刻曝光过程中，作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片，温度上升1度，就引起了0.24um线性膨胀，所以必须有±0.1度的恒温，同时要求湿度值一般较低，因为人出汗以后，对产品将有污染，特别是怕钠的半导体车间，这种车间不宜超过25度。 湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时，冷却水管壁上会结露，如果发生在精密装置或电路中，就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。
无尘车间都要通过保持室内静压高于非洁净区的静压，来防止污染，内外压力差需要保持：洁净度级别高的空间的压力要高于相邻的洁净度级别低的空间的压力；相通洁净室之间的门要开向洁净度级别高的房间；洁净空间的压力要高于非洁净空间的压力。
十万级无尘车间的建筑围护界区和室内装修，应选用气密性良好，且在温度和湿度变化的作用下变形小的材料。十万级无尘车间车间内墙壁和顶棚的表面，应平整、光洁、无裂缝、接口严密，无颗粒。
十万级无尘车间内墙壁和顶棚的表面，应平整、光洁、无裂缝、接口严密，无颗粒物脱落，并应耐清洗和耐酸碱，无尘车间净化，墙壁和地面、吊顶结合处做成弧形，踢脚不宜高出墙面，贵州无尘车间，当采用轻质材料融断时，应采用防碰撞措施。
十万级无尘车间的地面应整体性好、平整、耐磨、耐撞击、不易积聚静电、易除尘清洗，地面垫层应配筋，潮湿地区应做防潮处理。
十万级无尘车间的建筑围护界区和室内装修，应选用气密性良好，且在温度和湿度变化的作用下变形小的材料。
技术夹层为轻质吊顶时，设置检修通道。建筑风道和回风地沟的内表面装修标准，应与整个送回风系统相适应并易于除尘。
无尘车间内部装修施工要点：
1、吊顶需是专为无尘车间工程设计的系统，以便于安装简易快速、坚固、美观。有干、湿两类。干吊顶用于过滤风机系统，湿系统用于回风空调箱带过滤风口系统。
2、湿吊顶须用密封胶密封。
3、无尘车间工程中的车间墙为铝合金板材，拆装灵活。
4、提升地板根据洁净等级对换气次数的要求不同，带孔板的覆盖率不同。安装提升地板时，应先确定立柱的定位，用胶将柱固定在环氧地面上，并在胶干后测试其牢固程度。
5、所有提升地板内管线不可在安装立柱前施工。
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