光学微电子净化工程一般包括:
1、 洁净生产区
2、 洁净辅助间(包括人员净化用房、物料净化用室和部分生活用室等)
3、 管理区(包括办公、值班、管理和休息)
4、 设备区(包括净化空调系统应用、电气用房、高纯水和高纯气用房、冷热设备用房)
光学微电子净化工程解决方案:
净化工程的设计过程中,应加强对光学微电子行业净化工程设计方案分析了解,根据该工程是新建工程或者是旧厂房改造工程,并结合其具体的生产工艺、生产流程等要求确定其需要的洁净度、温湿度。再根据该工程的具体情况,同时还要考虑到生产厂家的经济承受能力,综合各种因素来确定采用何种净化方案,这样才可设计出一个能满足甲方生产使用要求、工程造价合理、经济节能实用的方案。1、组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口这是一个Zui传统的净化空调系统的设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段,如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)、加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。
4、自控装置保证全程调节
目前,有的生产厂家采用手动方式进行控制风量和风压的调节,内蒙古洁净厂房装修,但由于控制风量和风压的调节阀均在技术隔层,洁净厂房装修图集,而且吊顶也都是彩钢板的软吊顶,基本上都是在安装调试时调好,此后,大都没再调节过,实际上也无法调节。为确保洁净厂房的正常生产和工作,应设置一套较完整的自控装置,实现以下功能:洁净室空气洁净度、温湿度、压差监控、风阀调节;高纯气体、纯水和循环冷却水的温度、压力、流量的检测;气体纯度、纯水水质的监测等。
净化空调系统的空气过滤器随运行时间的增加,阻力增大,厂房洁净装修工程,为保持风量则需调节系统中的风阀。在统调试时系统启动时,为使风机空载启动,则需将风机出口处风阀关闭,风机启动后,因风阀上承受很压力,开启十分困难。采用空气过滤器前后压差的变化控制风机的变频调速装置后,送风量的调节会变十分容易,送风压力稳定。
这些监控装置可设计成单个系统的测量,控制系统,也可设计成集散式计算机控制和管理系统。净化空调系统在风机停转无风或超温时,电加热器会继续送电加热,造成设备损坏甚至发生火灾,洁净厂房装修规范,为避免这种情况的出现,应设置无风以及超温断电的保护。
单向流洁净室主要用于电子工业和生物制药生产的局部区域。在生物医用产品生产中主要采用局部设置层流罩或净化工作台或生物安全柜等来满足产品生产工艺的要求。在电子工业中的微电子产品或一些电子器件产品生产中需要一个房间或一条生产线,甚至数条生产线的主要工序均需设置在严于5级的洁净室内,才能达到产品生产的要求。为此,单向流洁净室的空间布置己从“单层”布置发展到“多层”布置。“单层”布置的单向流洁净厂房,在单向流洁净生产区的上部、下部设有上下技术夹层,在上技术夹层内布置送风管道、部分公用动力管线,通过设在顶棚上的高效过滤器向洁净生产区均匀送风;通过设在下技术夹层的回风地板回风至空气处理装置。“多层”布置的单向流洁净厂房的主要特点是将洁净生产区与供应产品生产工艺所需的各类公用动力管线、产品生产工艺管线及工艺辅助设施等都布置在下技术夹层(底层)内,同洁净生产区分层布置。
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